Продукт F2-TEX 162

Продукт F2-TEX™ 162 Гексафторбутадиен.
Синонимы: Гексафторбут-1,3-диен; Перфторбутадиен, Hexafluorobutadiene, HFO-2316.
Наименование IUPAC: 1,1,2,3,4,4-гексафтор-1,3-бутадиен
Формула: C4F6.
CAS: 685-63-2.
UN No: 3160.

В микроэлектронике: используется как травильный газ для сухого плазмохимического травления плёнок в производстве полупроводников , высокоаспектное травление (DRIE). Обеспечивает высокую селективность, точность травления и позволяет получать структуры с высоким аспектным отношением и гладкими вертикальными стенками. Применяется, в частности, при производстве медных плат выпрямителей с низкой диэлектрической проницаемостью и в технологиях 3D NAND.
В синтезе полимеров: используется в качестве бифункционального мономера для получения и сшивки перфторированных эластомеров.
Благодаря низкому соотношению фтора к углероду, он генерирует больше радикалов CF₂, что обеспечивает высокую селективность к оксиду кремния относительно фоторезиста и нитрида кремния.

При нормальных условиях стабильный газ, при повышенных температурах реагирует с хлором и бромом. При повышенных давлениях и температурах способен полимеризоваться с образованием димера и тримера гексафторбутадиена.

Молекулярный вес: 162.03.
Температура плавления, °C: -132.
Температура кипения, °C: 6-7.
Плотность (жидкая фаза), г/см³: 1,434, при t=20 °C.
Давление насыщенных паров при 20 °С, 178,8 кПа.

Считается «зеленым» газом: время жизни в атмосфере (ALT) составляет всего 1,9 дня, а потенциал глобального потепления GWP < 0,1, что значительно ниже, чем у традиционных перфторуглеродов.

контакты для заказа: ftornn@mail.ru тел. (831) 413-56-13